電感耦合等離子體質譜儀是一種常用的質譜儀產品，主要由等離子體發(fā)生器、霧化室、矩管、四極質譜儀和一個快速通道電子倍增管等部件組成。

 

工作原理：

 

根據(jù)被測元素通過一定形式進入高頻等離子體中，在高溫下電離成離子，產生的離子經(jīng)過離子光學透鏡聚焦后進人四極桿質譜分析器按照荷質比分離，既可以按照荷質比進行半定量分析，也可以按照特定荷質比的離子數(shù)目進行定量分析。該類型質譜儀主要由離子源、質量分析器和檢測器三部分組成，還配有數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、供電控制系統(tǒng)等。

 

 

與其它大型精密儀器一樣，電感耦合等離子體質譜儀需要在一定的環(huán)境下運行，失去這些條件，不僅儀器的使用效果不好，而且改變儀器的檢測性能，甚至造成損壞，縮短壽命。根據(jù)光學儀器的特點，對環(huán)境溫度和濕度有一定要求。
如果溫度變化太大，光學元件受溫度變化的影響就會產生譜線漂移，造成測定數(shù)據(jù)不穩(wěn)定，一般室溫要求維持在70～75攝氏度間的一個固定溫度，溫度變化應小于±1攝氏度。而環(huán)境濕度過大，光學元件，特別是光柵容易受潮損壞或性能降低。
電子系統(tǒng)，尤其是印刷電路板及高壓電源上的元件容易受潮燒壞。濕度對高頻發(fā)生器的影響也十分重要，濕度過大，輕則等離子體不容易點燃，重則高壓電源及高壓電路放電擊毀元件，如功率管隔直陶瓷電容擊穿，輸出電路阻抗匹配、網(wǎng)絡中的可變電容放電等，以至損壞高頻發(fā)生器。一般室內濕度應小于百分之70，應控制在百分之45～60之間，應有空氣凈化裝置。